进口真空泵维修厂家表示真空系统的日常维护十分重要，可避免在出现故障时手足无措、并能尽快排除故障使设备正常运转。东莞市普诺克真空科技有限公司通过以下内容对真空系统的主要部件维护作简单的介绍，同时，针对真空系统出现故障情况分析其原因以及真空泵维修之真空系统故障排除的方法，也会整理出来提供给各位进行参考一下的。

真空泵维修一：真空系统的主要部件及维护方法

1、旋转泵：要定期检查旋转泵的油平面，及时补充油确保泵运转正常。泵皮带用久后容易打滑，可适量加些皮带脂或稍调节皮带松紧度，可延长皮带寿命。

2、扩散泵：扩散泵的工作性能好坏是决定电镜获得高真空的关键，而影响扩散泵性能的主要原因是油质的下降和油量的减少为了减少扩散泵油的挥发和碳化，平时仪器要定期抽真空，换样品时尽量减少样品室在大气中停留的时间，关机后一般要十分钟后才停冷却水；有条件的冷却最好采用循环水箱和去离子水，以减少水垢的形成，保持冷却性能；扩散泵油在正常情况下可连续使用十年。

真空泵维修二：真空系统故障原因

（1）低真空正常，高真空上不去。仪器在正常使用中光栅突然出现闪烁，立即关高压后控制面板指示灯除 POWER亮，其余都熄灭，真空度下降。数分钟后用控制面板上的检测器测真空度（ⅤAC）电流一直在025mA.未听见高真空主阀启动的声音。查K板PD、HVAC指示灯熄灭，抽真空程序不能正常进行。从故障现象看引起仪器不正常的原因是：扩散泵工作不正常；计算机真空控制部分失控。

（2）仪器自动关机，处于保护状态：一开机 POWER指示灯亮，机械泵响声正常，15分钟左右扩散泵（DP）指示灯亮，不久PREEⅤAC、EVAC指示灯亮，一会PREEⅤAC、EVAC指示灯灭，马上PREEⅤAC、EVAC指示灯又亮，然后仪器自动关机处于保护状态。引起此故障的原因有下列几种情况：a.主电源电压不正常；b.真空系统不正常； c.高压电路故；d.计算机逻辑控制电路故障等。

真空泵维修三：真空系统故障排除方法

（1）检查发现进出口冷却水温度一样，用手轻摸扩散泵有余热，估计是加热器或加热电路有问题，测加热电路正常，拔下加热器插头，测二端电阻为∞，说明扩散泵加热器损坏，换上加热器真空系统恢复正常。

（2）经检查发现故障是扩散泵冷却水温度检测器损坏造起，更换温度检测器后故障排出。

要保持真空系统的良好性能，必须保证系统的畅通清洁，首先，做好仪器的使用状况和维护记录，每次开机都要注意查看仪器运转是否正常。这就是真空泵维修之真空系统故障排除最佳的方法，而且减少后续的人力物力财力。只需要在使用的过程中花费一点点时间进行检查，真空系统运行的时候就可以有一点保障了。